碳化硅厂设备

碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速

2023年4月26日  目前国内碳化硅切割设备主 流为金刚线切割设备，主要集中于高测股份、上机数控、连城数控、宇 晶股份等国内企业；激光切割设备目前试产份额较小，主要集中于德龙 激光、大族激光等国内企业。

又一巨头建设8英寸SiC产线，已采购这家国产设备 今年一季度

据优晶科技相关负责人介绍，2023年底，优晶科技获得了一家国际半导体巨头I公司的碳化硅长晶设备订单，即将开始交付。 据行业人士透露，这家海外客户是全球SiC头部厂商，正在建设 8英寸全产业链 项目，包含SiC衬底生产线、SiC晶圆生产线，长晶设备规划采购量高达1000台。 “行家说三代半”简单测算发现，该公司的8英寸碳化硅衬底产线达产后年产能或

10余家企业参与，5年内碳化硅（SiC）将全面入8英寸时代

受益新能源车爆发，碳化硅功率器件市场迅速增长。 有机构预测，2025 年新能源车+光伏逆变器市场需求达 261 亿元，20212025 年 CAGR=79%。 2025 年 SiC 在新能源车渗透率达 60%，预计 6 英寸 SiC 衬底需求达 587 万 片/年，市场空间达 231 亿元。 成本高，一直是碳

产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻

2022年12月15日  除碳化硅长晶炉设备外，被日本高鸟占据80%以上份额的碳化硅切磨抛设备，成为了上机数控、宇晶股份、大族激光、高测股份等厂商向上突围的共同选择。 今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。 截至目前订单量已接近150

碳化硅设备研发、生产、销售企业苏州优晶半导体科技股份

2024年3月12日  碳化硅设备研发、生产、销售企业苏州优晶半导体科技股份有限公司 致力于为全球客户提供国际领先的半导体装备、生长工艺和技术服务的综合解决方案 UKING 了解详情 联系我们 ABOUT U KING 苏州优晶半导体科技股份有限公司是一家专注于大尺寸（6英寸及以上）导电型碳化硅晶体生长设备研发、生产及销售的高新技术企业。 公司经

碳化硅“狂飙”：追赶、内卷、替代Focus腾讯新闻

2023年7月14日  据《2022碳化硅（SiC）产业调研白皮书》，除了碳化硅外延、离子注入、高温氧化/激活等碳化硅专用装备外，华卓精科等国内企业在激光退火、激光划片、PVD等关键设备方面也实现了批量供货；盛美上海宣布首次获得Ultra C SiC碳化硅衬底清洗设备的采购

碳化硅（SiC）行业深度：市场空间、未来展望、产业链及相关

2023年9月27日  其中晶盛机电6寸单片式碳化硅外延设备（型号为150A，产能350400片）已实现国产替代，22年公司外延设备市占率居国内前列。 23年6月公司又成功研发8英寸单片式碳化硅外延生长设备，引领国产替代。

碳化硅外延设备产品与技术纳设智能官方网站 Naso Tech

我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外延设备。

行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国

2023年2月26日  行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 年02 月26 日 ——行业周报 1、 碳化硅:大功率、高频、低损耗功率器件的最佳材料

碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速

2023年4月26日  目前国内碳化硅切割设备主 流为金刚线切割设备，主要集中于高测股份、上机数控、连城数控、宇 晶股份等国内企业；激光切割设备目前试产份额较小，主要集中于德龙 激光、大族激光等国内企业。

又一巨头建设8英寸SiC产线，已采购这家国产设备 今年一季度

据优晶科技相关负责人介绍，2023年底，优晶科技获得了一家国际半导体巨头I公司的碳化硅长晶设备订单，即将开始交付。 据行业人士透露，这家海外客户是全球SiC头部厂商，正在建设 8英寸全产业链 项目，包含SiC衬底生产线、SiC晶圆生产线，长晶设备规划采购量高达1000台。 “行家说三代半”简单测算发现，该公司的8英寸碳化硅衬底产线达产后年产能或

10余家企业参与，5年内碳化硅（SiC）将全面入8英寸时代

受益新能源车爆发，碳化硅功率器件市场迅速增长。 有机构预测，2025 年新能源车+光伏逆变器市场需求达 261 亿元，20212025 年 CAGR=79%。 2025 年 SiC 在新能源车渗透率达 60%，预计 6 英寸 SiC 衬底需求达 587 万 片/年，市场空间达 231 亿元。 成本高，一直是碳

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2022年12月15日  除碳化硅长晶炉设备外，被日本高鸟占据80%以上份额的碳化硅切磨抛设备，成为了上机数控、宇晶股份、大族激光、高测股份等厂商向上突围的共同选择。 今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。 截至目前订单量已接近150

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2023年7月14日  据《2022碳化硅（SiC）产业调研白皮书》，除了碳化硅外延、离子注入、高温氧化/激活等碳化硅专用装备外，华卓精科等国内企业在激光退火、激光划片、PVD等关键设备方面也实现了批量供货；盛美上海宣布首次获得Ultra C SiC碳化硅衬底清洗设备的采购

碳化硅（SiC）行业深度：市场空间、未来展望、产业链及相关

2023年9月27日  其中晶盛机电6寸单片式碳化硅外延设备（型号为150A，产能350400片）已实现国产替代，22年公司外延设备市占率居国内前列。 23年6月公司又成功研发8英寸单片式碳化硅外延生长设备，引领国产替代。

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我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外延设备。

行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国

2023年2月26日  行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 年02 月26 日 ——行业周报 1、 碳化硅:大功率、高频、低损耗功率器件的最佳材料

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10余家企业参与，5年内碳化硅（SiC）将全面入8英寸时代

受益新能源车爆发，碳化硅功率器件市场迅速增长。 有机构预测，2025 年新能源车+光伏逆变器市场需求达 261 亿元，20212025 年 CAGR=79%。 2025 年 SiC 在新能源车渗透率达 60%，预计 6 英寸 SiC 衬底需求达 587 万 片/年，市场空间达 231 亿元。 成本高，一直是碳

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2022年12月15日  除碳化硅长晶炉设备外，被日本高鸟占据80%以上份额的碳化硅切磨抛设备，成为了上机数控、宇晶股份、大族激光、高测股份等厂商向上突围的共同选择。 今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。 截至目前订单量已接近150

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2023年9月27日  其中晶盛机电6寸单片式碳化硅外延设备（型号为150A，产能350400片）已实现国产替代，22年公司外延设备市占率居国内前列。 23年6月公司又成功研发8英寸单片式碳化硅外延生长设备，引领国产替代。

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受益新能源车爆发，碳化硅功率器件市场迅速增长。 有机构预测，2025 年新能源车+光伏逆变器市场需求达 261 亿元，20212025 年 CAGR=79%。 2025 年 SiC 在新能源车渗透率达 60%，预计 6 英寸 SiC 衬底需求达 587 万 片/年，市场空间达 231 亿元。 成本高，一直是碳

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2023年9月27日  其中晶盛机电6寸单片式碳化硅外延设备（型号为150A，产能350400片）已实现国产替代，22年公司外延设备市占率居国内前列。 23年6月公司又成功研发8英寸单片式碳化硅外延生长设备，引领国产替代。

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行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国

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